SEM掃描電鏡的主要操作過程介紹

掃描電鏡的主要操作過程可以歸納為以下幾個(gè)步驟：

一、開機(jī)與準(zhǔn)備

接通電源：確認(rèn)掃描電鏡及其附屬設(shè)備（如真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)）處于正常工作狀態(tài)。在電鏡基座的前面板上找到綠（ON）、黃（STANDBY）、紅（OFF）三個(gè)按鈕，按紅鈕使電鏡通電。

預(yù)熱系統(tǒng)：按黃鈕，真空系統(tǒng)開始工作，整機(jī)處于待機(jī)狀態(tài)。約30秒后按綠鈕，所有系統(tǒng)開始工作，同時(shí)計(jì)算機(jī)自動(dòng)啟動(dòng)，注冊(cè)進(jìn)入系統(tǒng)。雙擊SEM掃描電鏡操作軟件（如SmartSEM）并登錄。

二、樣品制備與放置

樣品清潔與干燥：去除樣品表面的污垢和油脂，確保樣品干燥無水分。可以使用超聲波清洗、溶劑擦拭或干燥箱、真空干燥等方法。

固定樣品：將樣品固定在樣品臺(tái)上，使用導(dǎo)電膠或銀漿保證樣品的穩(wěn)定性。對(duì)于生物組織等不具備導(dǎo)電性的樣品，還需進(jìn)行導(dǎo)電處理，如噴鍍一層金屬（如金、鉑）或碳，以消除電荷積累。

放置樣品：樣品室通入氮?dú)夂蟠蜷_艙門，將準(zhǔn)備好的樣品放置在樣品臺(tái)上，確保樣品固定穩(wěn)固。關(guān)閉艙門后，啟動(dòng)真空泵進(jìn)行抽真空，直至真空度達(dá)到要求（如<8×10^-5mba）。

三、參數(shù)設(shè)置與調(diào)整

選擇加速電壓：根據(jù)樣品和觀測(cè)需求選擇適當(dāng)?shù)募铀匐妷海话銥?~30kV。電壓越大，產(chǎn)生的電子束流的能量越強(qiáng)，分辨率越高，但視野可能越亮或越暗，需根據(jù)樣品導(dǎo)電性進(jìn)行調(diào)整。

調(diào)節(jié)電子束電流：確保適當(dāng)?shù)某上窳炼群头直媛省?/span>

設(shè)置樣品工作距離：一般為1~20毫米，可通過調(diào)整樣品臺(tái)高度來實(shí)現(xiàn)。

四、觀察與成像

低倍率觀察：選擇低倍率模式，進(jìn)行樣品的初步對(duì)焦和定位。使用粗調(diào)和細(xì)調(diào)機(jī)制調(diào)整焦距，確保圖像清晰。

放大倍率調(diào)整：逐步提高放大倍率，觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)。在放大過程中，需不斷精調(diào)聚焦，使圖像保持清晰。

調(diào)整對(duì)比度和亮度：根據(jù)圖像質(zhì)量調(diào)整對(duì)比度和亮度，以獲得Z佳成像效果?？梢允褂米詣?dòng)調(diào)節(jié)功能或手動(dòng)調(diào)節(jié)。

掃描速度選擇：選擇適當(dāng)?shù)膾呙杷俣龋賿呙杩色@得更高質(zhì)量的圖像。

五、圖像記錄與處理

捕捉圖像：在Z佳成像條件下，捕捉并保存圖像?？梢酝瑫r(shí)保存BSE（背散射電子）和SE（二次電子）圖像的tif格式到文件夾中。

數(shù)據(jù)導(dǎo)出：將圖像和相關(guān)數(shù)據(jù)導(dǎo)出到計(jì)算機(jī)，進(jìn)行后續(xù)分析和處理?？梢暂斎胛谋净?qū)μ卣魑镞M(jìn)行測(cè)量。

六、關(guān)機(jī)與清理

關(guān)閉電子槍：完成觀測(cè)后，先關(guān)閉電子槍。

樣品室放氣與取樣：樣品室放氣后取出樣品，如需再次觀測(cè)可重新抽真空。

關(guān)閉系統(tǒng)：按提示關(guān)閉所有窗口與計(jì)算機(jī)，按黃鈕使整機(jī)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)，稍候再關(guān)紅鈕斷開電源。

設(shè)備維護(hù)：定期檢查和維護(hù)設(shè)備，包括真空系統(tǒng)、電子槍和探測(cè)器等部件的清潔與校準(zhǔn)工作。

綜上所述，SEM掃描電鏡的主要操作過程涉及開機(jī)準(zhǔn)備、樣品制備與放置、參數(shù)設(shè)置與調(diào)整、觀察與成像、圖像記錄與處理以及關(guān)機(jī)與清理等多個(gè)環(huán)節(jié)。每一步操作都需嚴(yán)格按照規(guī)程進(jìn)行以確保成像效果和數(shù)據(jù)質(zhì)量。