SEM掃描電鏡對于樣品的要求與以及制樣方法介紹

掃描電鏡對于樣品的要求以及制樣方法十分重要，它們直接影響到掃描電鏡的成像質量和分析結果的準確性。以下是對SEM掃描電鏡樣品要求及制樣方法的詳細介紹：

一、掃描電鏡對樣品的要求

樣品B須能夠承受高真空環境：

樣品中不能含有水分或揮發性物質，否則會影響真空度和電子束的穩定性，甚至損壞儀器。

樣品B須具有一定的導電性：

樣品能夠將電子束引入樣品并將多余的電荷導出，否則會造成樣品的荷電效應，導致圖像失真或模糊。對于不導電的樣品，通常需要在其表面鍍一層導電膜，如金或碳。

樣品的尺寸和形狀要求：

樣品的尺寸B須適合放入SEM掃描電鏡的樣品室中，一般不超過一定尺寸限制（如10cm×10cm×5cm）。同時，樣品的表面要盡可能平整，以便進行電子束的聚焦和掃描。

二、掃描電鏡的制樣方法

SEM掃描電鏡的制樣方法包括多個步驟，具體取決于樣品的類型和性質。以下是一些常見的制樣方法：

塊狀樣品的制樣方法：

小塊樣品：可以直接用導電膠或導電膠帶將其粘貼在樣品臺上。

大塊樣品：需要切割成適當的大小，并使用導電膠或導電漿液進行固定。對于需要高分辨率觀測的樣品，還可以在固定后再在其四周刷上導電膠以增強導電性。

粉末樣品的制樣方法：

常規粉末：可以直接用牙簽挑起后彈在導電膠帶上，然后用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。如果樣品量少或需要做能譜分析，可以重復多次上述步驟。

大顆粒或不導電粉末：可以將液態的導電膠刷在樣品臺上，然后將粉末撒在其上，再用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。

易團聚的粉末：需要先將其分散在適當的溶劑中，如無水乙醇，然后進行超聲處理。處理后將溶液滴在導電膠或硅片上，并放置在烘箱或紅外烤燈下烘干。

薄膜或片狀樣品的制樣方法：

可以用導電膠將其粘貼在樣品臺上，并標明測試面。如果需要測試截面，則需要自備或明確截面制備方法。

液體樣品的制樣方法：

可以根據實驗室條件選擇將其滴在硅片、鋁箔或導電膠上。在滴樣前需要確保溶劑和溶液不會反應，并且溶液能夠干燥。對于不易干燥的樣品，需要說明干燥條件并選擇合適的基底。

特殊樣品的制樣方法：

對于如混凝土、珊瑚沙、氣凝膠等需要抽真空時間長的樣品，需要控制其尺寸在較小的范圍內（如直徑≤5mm，厚度≤5mm）。

對于脆斷樣品，需要確保其尺寸足夠大（如尺寸≥2×2cm，厚度<0.5cm）以便進行觀測。

三、制樣過程中的注意事項

避免污染：在整個制樣過程中，應避免樣品受到污染，特別是防止空氣中灰塵的污染。

小心操作：在每個步驟中都要小心操作，避免對樣品結構造成破壞。特別是在進行切割、研磨和拋光等步驟時，需要控制好力度和速度。

記錄信息：記錄每一步驟的詳細信息，以便在出現問題時進行追溯和分析。

綜上所述，掃描電鏡對于樣品的要求和制樣方法十分嚴格和復雜。只有按照正確的步驟和方法進行制樣，才能獲得高質量的SEM掃描電鏡圖像和準確的分析結果。