SEM掃描電鏡樣品制備技術(shù)分享

掃描電鏡樣品制備技術(shù)是獲取高質(zhì)量SEM掃描電鏡圖像和分析結(jié)果的關(guān)鍵步驟。以下是對掃描電鏡樣品制備技術(shù)的詳細分享：

一、SEM掃描電鏡樣品制備的基本要求

保持完好的組織和細胞形態(tài)：對于生物樣品，需要確保其結(jié)構(gòu)和形態(tài)在制備過程中不受破壞。

充分暴露要觀察的部位：通過適當(dāng)?shù)奶幚?，使需要觀察的部位清晰可見。

良好的導(dǎo)電性：掃描電鏡樣品需要具備良好的導(dǎo)電性，以避免電荷積累導(dǎo)致的圖像畸變。對于非導(dǎo)電樣品，需要進行導(dǎo)電處理，如噴鍍金屬膜。

較高的二次電子產(chǎn)額：適當(dāng)提高樣品表面的二次電子發(fā)射率有助于提高成像質(zhì)量。

保持充分干燥的狀態(tài)：殘留水分會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，并散射電子束導(dǎo)致分辨率下降。

二、SEM掃描電鏡樣品制備的常用方法

塊狀樣品制備方法

小塊樣品：可直接固定在碳導(dǎo)電膠帶上。

塊體較大或需要高分辨觀測的樣品：可采用碳/銀導(dǎo)電漿液進行固定，或在碳導(dǎo)電膠帶固定后再在其四周刷上碳膠或銀膠。為確保固定牢靠，可在其表面固定兩條膠帶連接到樣品臺上，以增強導(dǎo)電與固定的作用。

粉末樣品制備方法

常規(guī)粉體：可用牙簽挑起后彈在導(dǎo)電膠帶上，然后用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。若感覺量少或需要做能譜分析，可重復(fù)多次上述步驟。

較大粉體、不導(dǎo)電粉體或磁性粉體：可將液態(tài)的碳膠或銀膠刷在樣品臺上，在未干之前利用牙簽挑起粉體彈在其上，然后用洗耳球或壓縮空氣等吹掉浮粉。

小顆粒粉體、易團聚粉體或需要進行顆粒度統(tǒng)計的粉體：需先利用稀釋溶液對粉體進行稀釋超聲分散后才可進行觀測。具體步驟包括稀釋、超聲分散、取樣、滴樣和烘干等。

生物樣品制備方法（以微生物為例）

取樣：根據(jù)樣品類型，用適當(dāng)?shù)姆椒ㄈ?，如用無菌剪刀從陽極上剪下一塊電極生物膜樣品。

固定：用適當(dāng)?shù)墓潭▌ㄈ缥於悠愤M行固定，以保存其結(jié)構(gòu)和形態(tài)。固定時間和條件需根據(jù)樣品類型進行調(diào)整。

沖洗：用適當(dāng)?shù)木彌_溶液（如磷酸緩沖溶液）對樣品進行沖洗，以去除固定劑殘留。

脫水：用乙醇等脫水劑對樣品進行脫水處理，以去除水分。脫水過程中需逐漸提高乙醇濃度，以避免樣品變形。

置換：用適當(dāng)?shù)闹脫Q劑（如乙酸異戊酯）置換脫水劑，為干燥做準(zhǔn)備。

干燥：采用臨界點干燥法等方法對樣品進行干燥處理，以避免樣品在干燥過程中變形。

粘樣：用導(dǎo)電膠布等將樣品粘貼在掃描電鏡樣品臺上。

噴金：用離子濺射鍍膜儀等設(shè)備在樣品表面鍍上一層金屬膜（如金膜），以提高樣品的導(dǎo)電性和二次電子產(chǎn)額。

三、掃描電鏡樣品制備的注意事項

避免污染：樣品中不能存在揮發(fā)物、污染物等，否則將污染真空系統(tǒng)并影響成像質(zhì)量。

防止損傷：在制備和觀察過程中，需避免對樣品造成不必要的損傷，如機械損傷、熱損傷等。

控制鍍膜厚度：鍍膜厚度對成像質(zhì)量有重要影響。過厚會掩蓋樣品細微結(jié)構(gòu)，過薄則無法起到導(dǎo)電作用。通常鍍層厚度控制在1~10納米較為合適。

選擇合適的制備方法：不同類型的樣品在形態(tài)和性質(zhì)上存在巨大差異，需根據(jù)樣品類型選擇合適的制備方法。

綜上所述，SEM掃描電鏡樣品制備技術(shù)是一項復(fù)雜而精細的工作，需要根據(jù)樣品類型和需求選擇合適的制備方法，并嚴格控制制備過程中的各個環(huán)節(jié)，以確保獲得高質(zhì)量的掃描電鏡圖像和分析結(jié)果。