SEM掃描電鏡的工作原理

SEM掃描電鏡是一種大型分析儀器，廣泛用于觀測(cè)各種固體物質(zhì)的表面微觀結(jié)構(gòu)和組成。 

所謂的掃描是指圖像從左到右，從上到下依次在圖像元素掃描過(guò)程。與電視一樣，它是由控制電子束偏轉(zhuǎn)的電子系統(tǒng)完成的。

在電子掃描中，電子束從左到右的掃描運(yùn)動(dòng)稱為行掃描或水平掃描，電子束自上而下的掃描運(yùn)動(dòng)稱為幀掃描或垂直掃描。兩者掃描速度完全不同，行掃描速度快于幀掃描速度，對(duì)于1000行掃描圖像，速度比為1000。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入顯微觀世界的工作。在微觀世界中，這種微觀并不叫微小，我們建議在微觀技術(shù)中使用納米作為共同的測(cè)量單位，以及1納米×10-6mm。

SEM掃描電鏡成像過(guò)程與電視成像過(guò)程有許多相似之處，但成像原理完全不同。傳輸鏡采用成像電磁透鏡進(jìn)行一次性成像，而掃描電鏡的成像不需要成像透鏡，其圖像在一定時(shí)間和空間順序上逐點(diǎn)形成，并顯示在外部顯像管上。

二次電子成像是一種利用掃描電鏡獲取的各種圖像中廣泛使用的圖像，其辨別能力也很高。我們以二次電子成像為例來(lái)說(shuō)掃描電鏡成像的原則。

電子槍發(fā)射的電子束高達(dá)30千伏，通過(guò)聚變透鏡和客觀透鏡進(jìn)行減小和聚焦，在樣品表面形成具有一定能量、強(qiáng)度和斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈磁場(chǎng)的作用下，事故電子束以一定的空間和時(shí)間順序在樣品表面逐點(diǎn)掃描。由于事件電子和樣品之間的相互作用，次要電子被逐出樣品。由于二次電子收集尤的作用，可以匯集向四面八方的二次電子，然后加速尤加速到閃爍體，轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，通過(guò)光導(dǎo)管到光電管，使光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。然后通過(guò)視頻放大器放大電信號(hào)并傳送到顯像管的門，顯像管調(diào)節(jié)管的亮度。因此，在折射屏幕上顯示不同程度的反射樣品表面外觀的不同程度的光和黑暗的二次電子圖像。

在SEM掃描電鏡中，樣品上的事故電子束掃描和顯像管熒光屏上的電子束掃描由普通掃描發(fā)生器控制。這確保了事件電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步，確保樣品上的"點(diǎn)"在時(shí)間和空間上與熒光屏幕上的"圖像點(diǎn)"對(duì)應(yīng)，即所謂的"同步掃描"。一般掃描圖像由近100萬(wàn)個(gè)圖像單元組成，一個(gè)接一個(gè)地對(duì)應(yīng)著物體，這就是為什么掃描電鏡不僅能以二維圖像的形式顯示總體外觀，還能顯示樣品局部范圍內(nèi)化學(xué)元素、光、電、磁等特性的差異。

上面的內(nèi)容就是小編介紹的掃描電鏡的原理，如果在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中掃描電鏡遇到什么問(wèn)題也可以隨時(shí)聯(lián)系小編，下期再見(jiàn)哦