掃描電鏡是一種高精度高分辨率的臺式設備，在很多領域都被應用到，從樣品的表面形貌可以獲得多種數據，并通過信號處理方法，可以獲得各種圖像、特殊的顯示方法，高分辨率的臺式掃描電鏡不僅可以觀察表面形貌，而且可以分析元件和成分，并通過電子通道模式進行結晶學分析。選定的面積可以是10米至3米。

那么sem掃描電鏡具體都在哪些領域被應用到呢？今天小編就來為您詳細介紹一下，希望能夠幫助您更好的理解sem掃描電鏡，詳情如下：

① 利用樣品電流，根據平均原子數的對比，產生的化學成分相的分布圖像與背面散射電子圖像的暗與暗圖像相反。

②利用俄歇電子定性分析了化學元素在1nm 表面的分布,

③半導體器件研究的特殊應用：

④用二次電子電勢對比圖反映樣品表面的電勢，可以看出樣品表面電勢的大小和分布，特別是用來判斷器件的隱藏開路或隱藏短路。

⑤在晶體結構物相識別的基礎上，利用背散射電子衍射信號進行了晶體結構（晶體中原子的排列），并對晶體取向分布進行了分析。