sem掃描電鏡的成像質量與哪些因素有關

1.傾斜角效影響圖像因素

由于二次電子的發射是入射電子碰撞樣品的海外電子，使原子外層受激發而電離出來的電子， 且電子在逸出樣品表面之前又和樣品進行多次散射，所以只要在樣品淺層幾納米到幾十納米組偶偶深度區域產生的二次電子才能逸出表面，被探測器收集到。因此電子束的入射角將影響二次電子圖像的反差。

2.邊緣效應

在樣品邊緣和較短部位攝入一次電子時。由于尖部和邊緣的二次電子容易脫離樣品，所以產生二次電子數量多，圖像異常明亮，稱為邊緣效應。邊緣效應造成反差不自然，降低圖像質量。若降低加速電壓，減少二次電子的發生量，或減少對比度。就可以使邊緣效應相對減輕。

3.原子序數效應

原子序數高的元素被激發的二次電子多，原子敘述地的元素則少。因此，在同等條件下，前者圖像明亮，這種現象成為原子序數效應。原子序數效應與被散射電子在樣品中的激發作用有關。在觀察生物樣品時，在樣品表面均勻噴鍍一層原子敘述高的金屬膜，可提高圖像質量。

4.充放電效應

生物樣品大多數是高絕緣性的，入射電子不能在樣品中構成回路倒入大地，堆積在樣品上的入射電子形成負電荷區，產生放電現象或排斥后續入射電子，使其被檢測器吸收或者轟擊樣品室其他部件，嚴重應先二次電子圖像質量，如采用鍍膜，導電膠黏貼樣品等導電處理，可減少充放電效應的影響。

5.焦點深度

所謂的焦深是指對高低不平試樣各部分聚焦的*大限度的能力。它是掃描電鏡中一個重要的和可控的性能指標，是影響整幅圖像各部位清晰度的一個重要因素。隨著圖像的放大倍數增加，其焦深受束斑尺寸的影響越來越顯著。在高倍放大時，要得到較大的焦深，就要選擇大孔頸的物鏡光闌，或者縮小工作距離進行觀察。