SEM掃描電鏡中光闌幾個類別的介紹

1、柵極光闌：電子槍偏壓主要加在柵極帽上，而且柵極光闌尺寸和形狀對于電子源的尺寸形狀乃至亮度都有影響。因為鎢燈絲電子槍燈絲溫度一般為2000℃以上，而且距離柵極光闌高度不超過150微米，所以柵極光闌采用耐高溫的鉭材料制成孔徑為500μm的ZX對稱的圓形。由于偏壓的存在，高能電子束不接觸光闌。一般清洗只需要用氨水和酒精，氧化鎢沉積污染。柵極光闌對中一般采用機械對中，即電子槍乃至高壓電纜整體移動。

2、陽極光闌和聚光鏡光闌：從電子源發射的電子束，幾乎都可以通過陽極光闌，進入電磁聚光鏡，電子束經過聚光鏡聚光后，通過聚光鏡光闌，進入物鏡。陽極光闌在正常情況下，受到的電子轟擊一般不是很嚴重因此壽命較長;聚光鏡因為是強激勵，焦距很短，因此轟擊在聚光鏡光闌上的電流密度較小壽命也較長。這兩個光闌孔設計為300μm。能夠很好滿足電子光學高分辨需要。

光闌對中：通常這兩個光闌安裝在一個真空密封襯管的兩端，通過零件的機械精度進行定位。

3、物鏡光闌：末級光闌和工作距離共同決定作用在樣品上的孔徑角，大多數掃描電鏡的物鏡光闌，設置多個孔徑，在鏡筒外通過光闌桿可以調節。大多在光闌桿上排列安裝3-4個光闌，孔徑多為200μm，150μm、100μm、50μm。

光闌越小，孔徑角度越小，景深越大。光闌越小，降低了透鏡像差的影響，Z小電子束斑尺寸越小。光闌越小，Z終束斑電流越小。與電子束高斯斑直徑無關。

物鏡光闌對中：

①手動對中：所有操作均為手動;

②搖擺對中：物鏡聚焦采用搖擺器自動在一定小范圍內，反復連續改變焦距。

SEM掃描電鏡所有光闌的對中目的都是避免軸外電子聚焦形成不良電子斑，尤其物鏡光闌，如合軸不良，將會產生巨大象散，以及受到更大像差的影響。很大程度降低掃描電鏡的分辨率。如果光闌孔變得不圓，那么相當于軸外電子進入電磁透鏡聚焦，這些電子將不會和大多數電子一樣聚焦在高斯平面，如果經過多次清洗后的光闌，使用效果無法接受，只能更換。