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          SEM掃描電子顯微鏡組成部分的介紹

          日期:2023-03-24 14:08:33 瀏覽次數:112

          電子光學系統:

            組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。

            作用:獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發源。

          信號收集和顯示系統:

            信號收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)

            顯示系統:顯示屏有兩個,一個用于觀察,一個用于記錄照相。

          真空系統:

            組成:機械泵、擴散泵

            作用:保證電子光學系統正常工作,提供高真空度,防止樣品污染,保持燈絲壽命,防止極間放電。

          電源系統:

            包括啟動的各種電源,檢測-放大系統電源,光電倍增管電源,真空系統和成像系統電源燈。還有穩壓、穩流及相應的安全保護電路。

           


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