SEM掃描電鏡參數選擇的介紹

掃描電鏡參數眾多，皆可顯示在圖片下方工具欄中，但決定圖像質量Z直接、Z關鍵因素是加速電壓(EHT)、工作距離(WD)、放大倍數(Mag)和檢測器種類。

SEM掃描電鏡常見參數

1、加速電壓

一般，加速電壓越高，掃描電鏡圖像分辨率越高，當樣品導電性好且不易受電子束損傷時可選用高加速電壓，這時電子束能量大，對樣品穿透深，材料襯度減小，圖像分辨率提高。但加速電壓過高，電子束對樣品的穿透能力過大，樣品表面信息缺失，樣品看起來像玉一樣。

低加速電壓時，入射電子能量較低，其與樣品的作用深度較淺，更能反映樣品Z表層的信息，有利于樣品表層形貌的觀察;此外，低加速電壓可以有效地減少荷電現象，更易觀察不導電樣品。樣品在10kV加速電壓下邊緣過亮，說明此處電荷大量積累，而用1kV加速電壓拍攝的同一部位就沒有明顯的荷電現象。

因此，根據自己的要求靈活地選擇加速電壓，才能得到理想的SEM掃描電鏡圖像。當需要觀測樣品的表面信息、樣品的導電性較差、樣品的熱穩定性較差時，需要選擇較低的，甚至是超低的加速電壓。當需要得到分辨率高的圖像、樣品表面存在有機污染或是樣品內部的相組成信息時，需要選擇較高的加速電壓。

2、工作距離

工作距離(WD)是物鏡下極靴到樣品表面的距離。工作距離增大時，樣品上的束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加。同時，較大的工作距離可以實現很小倍數成像，放大倍數能夠達到幾十倍。通常工作距離可在2-45mm范圍內選用。觀察高分辨圖像時可選用小于5mm的工作距離，配合探測器;而觀察粗糙斷口表面或較大的植物樣品時可以選用10mm以上的工作距離，以獲得較大的景深。

3、探測器種類

SE2和Inlens都是二次電子探測器，用于樣品形貌檢測。ASB探測器是背散射電子探測器，用于元素襯度成像。

4、放大倍數和標尺

掃描電鏡放大倍數：體現線圈磁場變化控制電子束掃描區域大小的能力范圍，是圖像顯示尺寸和電子束在樣品掃描區域尺寸的線性比值，以M表示，如果樣品上長度為Ls直線上的信息，在顯像管上成像在Lc長度上，則放大倍數為：M=Lc/Ls。

現在的SEM掃描電鏡幾乎全部用數碼相機照相。每個廠家對放大倍數的定義均不相同。每個儀器上也會有很多放大倍數顯示方法，比如本機Z常用的是標準放大倍數，即該掃描區域對應545底片上的倍數;此外還有屏幕放大倍數，即掃描區域對應電腦顯示屏的放大倍數。因此對于不同掃描電鏡，相同放大倍數下看到的區域不一定一樣大。此時需要看標尺，所有SEM掃描電鏡上的標尺長度是一致的。

對于同一臺掃描電鏡，操作人員沒有調節放大倍數顯示方法的前提下，照的同一倍數的照片，大小一致。但有時同一放大倍數下，顯示的標尺是不一樣的，如有時5000倍的照片顯示1μm的標尺，有時顯示的是2μm的標尺，但標尺顯示的長度是按比例的。