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SEM掃描電鏡樣品制備之樣品熱穩(wěn)性要好,且不會(huì)被電子束分解

日期:2023-07-17 13:43:31 瀏覽次數(shù):122

電子束下樣品熱穩(wěn)性要好,且不會(huì)被電子束分解。在掃描電鏡正常觀察圖像時(shí),電子探針的束流通常為 nA 級(jí)別,所以對(duì)于大多數(shù)樣品,受熱不是問(wèn)題。但對(duì)一些熱敏材料會(huì)出現(xiàn)損傷,觀察部位出現(xiàn)起泡、龜裂、孔洞(熱損傷),甚至有些樣品在高溫下分解,釋放氣體或物質(zhì)(熱分解),當(dāng)他們進(jìn)入電鏡內(nèi)部,勢(shì)必會(huì)影響電鏡性能,甚至引起故障。

 掃描電鏡.jpg

解決方案:

這類樣品多為生物和有機(jī)聚合物樣品,在表面鍍膜可以提高樣品的穩(wěn)定性,觀察時(shí)也盡量選擇較小加速電壓和束流強(qiáng)度,以減少電子束對(duì)樣品的損傷。

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