掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。SEM掃描電鏡還具有很多優越的性能，是用途z為廣泛的一種儀器。

掃描電鏡觀察納米材料

所謂納米材料，是指材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內，在保持表面清潔的條件下，通過壓制形成的固體材料納米材料具有許多不同于晶態和非晶態的物理和化學性質納米材料具有廣闊的發展前景，將成為未來材料研究的重點SEM掃描電鏡的一個重要特點是分辨率高現在它被廣泛用于觀察納米材料。

掃描電鏡觀察材料斷口

SEM掃描電鏡的另一個重要特點是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強、形狀三維等特點，比其他顯微鏡能提供更多的信息，對用戶有很大的價值SEM掃描電鏡所表明斷裂形態從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質，在教學科研和生產中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。

掃描電鏡觀察大試樣的原始表面

掃描電子顯微鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品，不受樣品形狀的限制，也可以觀察到粗糙的表面，避免了樣品制備的麻煩并能真實觀察樣品本身不同物質成分的對比度(背反射電子圖像)。

SEM掃描電鏡觀察厚試樣

掃描電鏡可以獲得高分辨率和z真實的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在比較厚樣品的觀察時，由于透射電子顯微鏡也采用層壓法，層壓的分辨率通常只有10nm，而且觀察的不是樣品本身。因此，用SEM掃描電鏡觀察厚樣品，獲得樣品的真實表面數據更為有利。

由于掃描電鏡具有上述特點和功能，SEM掃描電鏡越來越受到研究者的重視，得到了廣泛的應用目前，掃描電鏡已廣泛應用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫藥、半導體材料及器件、地質勘探、病蟲害防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定等領域工業生產中的產品質量鑒定和生產過程控制等。