SEM掃描電鏡8個常見問題以及解決辦法的介紹

掃描電鏡可以說是科研必備“神器”。SEM掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。無論是觀察納米材料的形態結構，還是礦石的微觀縫隙，紋路，甚至是蘭花種子的細胞結構等，掃描電鏡都是相對的優選。它的主要原理就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

Q1、氣凝膠樣品怎么制備比較好？

答：根據不同類型的氣凝膠，參考粉末樣品制備方法，注意的是優選液體導電膠固定樣品。

Q2、什么樣的樣品可以液氮脆斷？

答：液氮脆斷法主要用于高分子材料斷面觀察，高分子材料有一定的韌性，直接剪短，斷面就不夠清晰，但放入液氮中，可以實現脆性斷裂。其實在測試中，有一些細柱狀的樣品，比如螺釘，用液氮輔助淬斷也有很好效果。

Q3、磁性粉末如何消磁？

磁性粉末用蔡司場發射電鏡可以不用消磁，參照常規粉末樣品制備。若是一些塊狀的強磁性材料可以通過加熱或者外加個磁場來進行消磁，市場有專門的消磁器。

Q4、在拍攝部分樣品SEM掃描電鏡圖片中能看到明顯的電子束黑斑，這如何去除界面里的電子束斑呢？

答：電子束黑斑有可能是樣品比較臟，發生了積碳，建議制好的樣品注意保存環境或者及時測試。

Q5、同一個樣品為什么不同儀器上拍攝出的效果不同呢？

答：若拍照參數設置相近的話，效果不會有太大不同；只有不同儀器在拍攝時，參數（探頭、電壓、束流等）設置不同，具體哪些參數的影響，需要針對拍攝結果來分析。

Q6、se2是不是加速電壓小，照片清晰度要好一些？

答：如果只考慮電壓的話，電壓越高，分辨率和信噪比就會更好，更清晰；你說的電壓小，圖像越清晰，應該是針對有表面細節結構的樣品，在較低電壓下，可以看到樣品的表面細節，高電壓下，作用區比較深。看不到細節。

Q7、多大的放大倍數可以看到金顆粒？

答：鍍膜顆粒度受靶材、樣品和鍍膜儀（真空度、工作原理等）的影響，對于Au靶材的話，一般放大倍數在幾萬倍下就可以看到的。

Q8、噴金，噴鉑，噴碳的具體應用場景是哪些？

答：Au，Pt，Cr等金屬靶材，可以增加導電性，增加二次電子和背散射電子的產生，有較好的信噪比，也可以減少電子束的穿透，目的是獲取較高質量的圖像。

C靶材，適用于EDS、EBSD、WDS等成分的分析。