SEM 掃描電鏡不同類型樣品制備方法的介紹

SEM 掃描電鏡不同類型樣品制備方法的介紹：

塊狀樣品

① 小塊體樣品直接固定在碳導電膠帶上

② 塊體較大或需要高分辨觀測的樣片，一般在碳導電膠帶上固定后再在其四周刷碳膠或銀膠，使固定更加牢靠，不易發生漂移

③ 樣品表面固定碳膠帶連接到樣品臺上，輔助固定，增加導電性

粉末樣品

① 首要原則是粉量少

粉量過多的危害：

① 對儀器：表面浮粉易污染樣品室、鏡筒、甚至堵塞光闌

② 對操作者：表面浮粉并未直接接觸導電膠帶，在電子束的作用下有可能引起樣品的移動且極易荷電，難以獲取高質量圖片，對觀測和分析都帶來影響

粉末樣品-常規粉體

① 固定導電膠帶，用牙簽挑出少量粉體，將粉體彈到導電膠帶上，用洗耳球/壓縮空氣吹掉浮粉，適量粉體

② 切勿將膠帶直接按壓在粉體中或用藥匙取大量粉體按壓在膠帶上

粉末樣品-小顆粒或易團聚粉體

① 用稀釋溶劑對粉體進行稀釋，一般為水、無水乙醇等

② 進行超聲，時間一般為5-10min，視樣品而定

③ 超聲結束后立即取用，避免再團聚

④ 將稀釋液滴在硅片或鋁/錫箔紙上

⑤ 將樣品放置于干燥箱或紅外烤燈下烘干即可

截面樣品-拋光

① 固定方式：樹脂鑲嵌法&金屬夾板法

② 拋光方式：砂紙研磨&金剛石細拋&離子束精拋