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影響SEM掃描電鏡成像的幾大要素介紹
日期：2023-10-08 09:25:15 瀏覽次數：145
1、分辨率
影響掃描電鏡的分辨本領的主要因素有：A. 入射電子束束斑直徑；B. 入射電子束在樣品中的擴展效應；C. 成像方式及所用的調制信號。
2、放大倍數
Sem掃描電鏡的放大倍數可表示為M =Ac/As式中，Ac—熒光屏上圖像的邊長；As—電子束在樣品上的掃描振幅。一般地，Ac 是固定的(通常為100 mm)，則可通過改變As 來改變放大倍數。目前，大多數商品掃描電鏡放大倍數為20～20,000倍，介于光學顯微鏡和透射電鏡之間，即SEM掃描電鏡彌補了光學顯微鏡和透射電鏡放大倍數的空擋。
3、景深
掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大，所得掃描電子像富有立體感。
4、襯度。襯度包括：表面形貌襯度和原子序數襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。
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