SEM掃描電鏡日常維護要注意哪些細節

掃描電鏡日常維護要注意哪些細節，下面小編為您介紹一下。SEM掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來，掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發展。

SEM掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆 粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號。由電子槍發射的能量為 5 ～ 35keV 的電子，以其交 叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度 和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產生二次電子發射(以及其它物 理信號)，二次電子發射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集 轉換成電訊號，經視頻放大后輸入到顯像管柵極，調制與入射電子束同步掃描的 顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。

掃描電鏡的日常維護:

1.保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物。

2.開機時一定要先開水冷系統,并要檢查冷卻水的溫度，關機至少15分鐘后才能關閉冷卻水。

3.進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置.緩緩關閉樣品室,確保進樣倉門關閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣。

4.移動樣品，通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于Z大允許值。

5.傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當心，不要撞壞探頭。要根據樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的角度要小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴。

6.用BSE探頭時不可傾斜樣品臺。

7.樣品只有在加速電壓關閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關閉高壓。

8.放氣時HT要處于關閉狀態，要等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門。

9.更換鎢燈絲時， 等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷。

10.電鏡需要手動調節的部分主要有光闌,象散，工作距離調節的旋鈕等，其他部件不允許調整。

11.每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。