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環境掃描電鏡和場發射掃描電鏡的區別是什么?

日期:2023-11-08 09:13:00 瀏覽次數:107

一、環境掃描電鏡和場發射掃描電鏡的基本原理

環境掃描電鏡和場發射掃描電子顯微鏡都是電子顯微鏡的一種。它們利用固定的電子束掃描樣品表面,并探測從樣品表面所反射、散射或輻射出來的電子,來獲得樣品表面的微觀形貌、結構和成分信息。兩者的基本原理十分相似,但各自采用不同的電子發射方式,影響了其分辨率和適用范圍,具體如下:

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1.環境掃描電鏡(ESEM)

環境掃描電鏡可用于觀察具有生物樣品、活體組織、濕潤的樣品甚至熱、潮濕的環境下的樣品。ESEM除了標準的真空系統外,還包含了一個高濕度或高壓氣體的環境掃描室,使得ESEM在低真空條件下工作時,仍然可以獲得高分辨率圖像。

2.場發射掃描電鏡(FESEM)

場發射掃描電鏡一般用于觀察非導電性或者半導體樣品表面形貌,但后來采用了金屬導電涂層的方式,使得觀察晶體、高聚物等復雜結構成為可能。它采用錐形的電極,通過加電壓的方式使導電樣品表面釋放出電子,從而得到對樣品表面進行掃描觀察的圖像。

二、環境掃描電鏡和場發射掃描電鏡的區別

但是環境掃描電鏡和場發射掃描電鏡之間存在一些區別:

1.適用范圍

ESEM在不同的環境下均可使用,而FESEM只能在真空環境下使用。

2.樣品制備

ESEM不需要對樣品進行任何預處理,可以直接用于樣品的表面觀察,而FESEM需要在樣品表面涂覆一層導電性較強的金屬薄膜,才能使用。

3.分辨率

ESEM的分辨率較低,一般為數十納米,而FESEM的分辨率一般在幾十納米以下。

總結:環境掃描電鏡和場發射掃描電鏡雖然有許多相似之處,但它們的用途和原理不同。理解它們的區別對選擇正確的掃描電鏡儀器及應用具有重要意義。

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