SEM掃描電鏡的測試技巧分享

掃描電鏡的測試技巧主要包括以下幾個方面：

樣品準備：

確保樣品的尺寸和形狀適應SEM掃描電鏡的樣品臺。

清潔樣品以避免在顯微鏡中觀察到不相關的顆粒。對于生物樣品，尤其需要經過干燥處理，并確保不含揮發物和污染物，因為這些物質可能污染探測器、光闌等部件。

樣品應具有導電性，以避免表面多余電子或游離粒子的累積，影響電子信號的傳遞，造成圖像扭曲、變形、晃動。對于不導電或導電性差的樣品，需要進行鍍膜處理。

儀器準備與啟動：

打開掃描電鏡軟件并確保與掃描電鏡的連接正常。

按照操作手冊打開儀器電源，并等待儀器完成啟動和自檢過程。

實驗參數設置：

根據樣品的性質和所需分辨率選擇合適的加速電壓。通常，較低的加速電壓適合觀察表面形貌，而較高的加速電壓適合觀察內部結構。

確定掃描速度。

設置探針電流。注意探針電流的大小直接影響束斑尺寸，探針電流越大，束斑尺寸也隨之增加。

設置探頭聚焦，確保電子束的聚焦和定位良好，以獲得清晰的圖像。

操作環境與維護：

確保SEM掃描電鏡在潔凈的環境中運行，避免灰塵和顆粒物進入儀器。

避免直射光線照射到樣品，以減少背景噪音。

在開始觀察之前，進行電子束對準，確保電子束正確定位于樣品表面。

定期檢查和維護真空系統，確保其正常運行并避免漏氣。

圖像獲取與分析：

選擇適當的工作距離和放大倍數，以獲得所需的圖像細節和清晰度。

注意觀察圖像是否出現不規則的移動，這可能是由于物鏡光闌未正確對準中心軸，需要進行調整。

在高倍率觀察時，如出現圖像不清晰或模糊邊緣，可能是像散現象，需要進行相消散處理。

遵循以上技巧，可以更有效地利用掃描電鏡進行測試，獲得更準確、更可靠的測試結果。但請注意，這些只是一般的測試技巧，實際操作中可能還需要根據具體的設備型號、樣品特性和測試需求進行更具體的調整和優化。