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SEM掃描電鏡無圖像故障的原因以及解決辦法介紹

日期:2024-06-19 09:18:45 瀏覽次數:237

掃描電鏡無圖像故障的原因及解決辦法可以歸納如下:

原因分析

電源控制系統故障:

表現為掃描電鏡停機后再開機無反應,SEM掃描電鏡各指示燈均不亮。

具體原因可能是電源控制部分出現故障,如保險絲燒壞、隔離變壓器損壞等。

掃描電鏡.jpg

高壓系統故障:

表現為燈絲無法開啟。

可能原因是高壓箱未識別,高壓箱上沒有電壓輸入。

光學系統問題:

掃描電鏡的光學系統包括電子透鏡和掃描線圈,如果其中任何一個部件出現問題,都可能導致無法顯示圖像。

探針電流問題:

SE2模式需要足夠的探針電流來產生圖像,如果探針電流不足,可能會導致無法顯示圖像。

檢測器問題:

SE2模式的檢測器通常是反射電子檢測器,如果檢測器出現問題,可能會導致無法顯示圖像。

信號處理問題:

SE2模式的信號需要通過放大器和信號處理電路來處理和顯示,如果這些電路出現問題,可能會導致無法顯示圖像。

儀器操作和環境因素:

如放入的樣品受潮或送樣桿污染引起樣品交換室發生稍微漏氣,導致抽真空速度很慢。

顯微鏡鏡頭可能出現問題,如鏡頭污染或損壞。

解決辦法

電源控制系統故障:

檢查保險絲并更換。

檢查隔離變壓器,如損壞則更換或接入220V交流轉24V直流的開關電源。

高壓系統故障:

檢查高壓箱的光纖和電源輸入部分。

更換或修理高壓箱供電的開關電源。

光學系統問題:

清潔或更換電子透鏡和掃描線圈。

探針電流問題:

檢查探針電流是否正確,并調整至適當值。

檢測器問題:

清潔或更換檢測器。

信號處理問題:

檢查放大器和信號處理電路,修理或更換損壞的部件。

儀器操作和環境因素:

取出樣品,用紅外燈烘烤,檢查抽真空速度。

清潔送樣桿,并涂上真空油脂。

檢查sem掃描電鏡鏡頭,如有污染或損壞則進行清潔或更換。

以上內容僅作為參考,具體故障分析和解決辦法需要根據實際情況進行,建議咨詢專業的技術人員或參考相關操作手冊。

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