SEM掃描電鏡的測試圖怎么看？

SEM（掃描電子顯微鏡）掃描電鏡的測試圖主要包括二次電子像（SEI）和背散射電子像（BEI），這兩種圖像各有其特點和觀察重點。以下是如何查看SEM掃描電鏡測試圖的方法：

一、圖像基礎認知

圖像類型：SEM測試圖主要為灰度圖像，通過不同灰度級別來展示樣品表面的微觀形貌或元素分布。

放大倍數：SEM圖像的放大倍數可以根據需要調整，從低倍到高倍，以便觀察不同尺度的細節。

二、二次電子像（SEI）觀察

形貌特征：

二次電子像主要反映樣品表面的微觀形貌，其成像效果與自然光下觀察到的形貌基本一致。

亮的區域表示樣品表面凸起或高于平均平面，暗的區域則表示凹陷或低于平均平面。

觀察要點：

注意觀察樣品表面的粗糙度、紋理、孔洞、裂紋等形貌特征。

通過對比不同區域的亮度差異，可以分析樣品表面的起伏和形態特征。

三、背散射電子像（BEI）觀察

元素分布：

背散射電子像主要反映樣品表面的元素分布情況。由于背散射電子的產額與樣品的原子序數成正比，因此亮的區域表示原子序數較高的元素，暗的區域則表示原子序數較低的元素。

觀察要點：

注意觀察樣品表面不同元素的分布情況，特別是那些對性能有重要影響的元素。

通過分析亮暗區域的對比度和分布情況，可以推斷出樣品表面的元素組成和分布狀態。

四、綜合分析與判斷

結合形貌與元素：

在實際分析中，通常需要同時觀察二次電子像和背散射電子像，以便更全面地了解樣品的微觀結構和元素分布。

通過對比兩種圖像的信息，可以進一步揭示樣品表面的形貌特征與元素分布之間的關系。

考慮其他因素：

在分析SEM測試圖時，還需要考慮樣品的制備過程、測試條件以及可能的誤差來源等因素。

特別是要注意樣品表面可能存在的污染、損傷或處理不當等問題，這些因素都可能對測試結果產生影響。

五、示例分析

（由于直接提供具體圖像存在困難，以下通過文字描述示例分析過程）

假設有一張SEM測試圖同時包含二次電子像和背散射電子像：

在二次電子像中，可以觀察到樣品表面存在明顯的凹凸不平現象，以及一些微小的孔洞和裂紋。

在背散射電子像中，則可以發現樣品表面某些區域明顯較亮，而其他區域則相對較暗。這些亮暗區域的分布與樣品中的元素分布密切相關。

通過綜合分析兩種圖像的信息，可以推斷出樣品表面的微觀形貌特征以及元素分布情況，并據此對樣品的性能進行評估和預測。

總之，在查看SEM掃描電鏡測試圖時，需要仔細觀察圖像中的形貌特征和元素分布情況，并結合其他相關信息進行綜合分析和判斷。