SEM掃描電鏡樣品制樣之如何制備片狀樣品

掃描電鏡樣品制樣中，片狀樣品的制備是一個重要環節。以下是制備片狀樣品的一般步驟和注意事項：

一、前處理

取樣：

根據實驗需求，從待測材料中切取適當大小的片狀樣品。樣品應盡可能平整，以減少觀察時的傾斜和陰影效應。

樣品尺寸通常應小于SEM掃描電鏡樣品臺的尺寸，同時考慮到后續固定和導電處理的需要。

清洗：

使用適當的溶劑（如乙醇、丙酮等）清洗樣品表面，以去除油脂、污垢和其他可能影響觀察結果的雜質。

清洗時應避免使用可能腐蝕樣品或影響觀察結果的化學試劑。

二、固定

導電膠帶粘貼：

對于較小的片狀樣品，可以使用導電膠帶（如碳導電膠、銅導電膠等）將其粘貼在SEM樣品臺上。

粘貼時，應確保樣品平整且牢固地固定在導電膠帶上，避免在后續觀察過程中發生移動或脫落。

機械固定：

對于較大的片狀樣品或形狀不規則的樣品，可能需要使用機械固定的方法。

例如，可以使用夾具、螺釘或其他固定裝置將樣品固定在SEM樣品臺上。

在固定過程中，應確保樣品不會受到過大的壓力或變形，以免影響觀察結果。

三、導電處理

噴鍍導電層：

由于掃描電鏡觀察需要樣品具有良好的導電性，以避免電荷積累導致的成像質量下降，因此需要對片狀樣品進行導電處理。

常用的導電處理方法包括噴鍍金、鉑、碳等導電材料。噴鍍厚度應適中，以確保導電性的同時不影響觀察結果。

噴鍍前，應確保樣品表面干凈無雜質，以避免噴鍍層與樣品表面發生反應或形成不均勻的噴鍍層。

其他導電方法：

除了噴鍍導電層外，還可以使用導電膠（如液體導電膠）將樣品固定在導電基底上，以提高樣品的導電性。

使用液體導電膠時，應注意控制導電膠的粘稠度和固化時間，以確保樣品能夠牢固地固定在導電基底上。

四、注意事項

樣品厚度：

對于需要高分辨觀察的片狀樣品，應控制其厚度在適當范圍內。一般來說，SEM掃描電鏡觀察的樣品厚度應小于電子束的穿透深度。

樣品穩定性：

在制備過程中，應確保樣品具有足夠的穩定性，以承受掃描電鏡觀察過程中的電子束轟擊和機械振動。

避免污染：

在整個制備過程中，應嚴格防止樣品被污染。使用干凈的工具和容器，避免用手直接接觸樣品表面。

安全操作：

在進行噴鍍等操作時，應佩戴適當的個人防護裝備（如防護眼鏡、手套等），以確保操作人員的安全。

通過以上步驟和注意事項，可以制備出適合SEM掃描電鏡觀察的片狀樣品。在實際操作中，可能還需要根據具體樣品和實驗需求進行適當調整。