SEM掃描電鏡的分類介紹

SEM掃描電鏡，即掃描電子顯微鏡，是一種利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，通過激發和收集物理信息，對物質微觀形貌進行表征的精密儀器。其分類可以從多個角度進行，以下是從電子槍種類和掃描方式兩個主要角度的分類介紹：

一、按電子槍種類分類

鎢燈絲掃描電鏡

特點：使用鎢絲作為電子發射源，通過熱發射方式產生電子束。鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像。

應用：適合大量的常規檢測，廣泛應用于材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域。

場發射掃描電鏡

特點：具有高分辨率，可分為冷場發射和熱場發射兩種。冷場發射掃描電鏡的電子束直徑*小，亮度*高，影像分辨率*優，但真空條件要求高，束流不穩定，發射體使用壽命短。熱場發射掃描電鏡則能在較差的真空度下操作，維持較佳的發射電流穩定度，連續工作時間長，還能與多種附件搭配實現綜合分析。

應用：冷場發射掃描電鏡主要用于材料科學、化學領域的分析；熱場發射掃描電鏡則廣泛應用于物理學、材料科學、能源科學技術等領域的微觀研究和分析。

六硼化鑭掃描電鏡

特點：使用六硼化鑭作為電子發射源，亮度比鎢絲高，使用壽命也較長，但需要在較好的真空環境下操作。

應用：因其性能介于鎢燈絲和場發射之間，所以在某些特定領域也有應用。

二、按掃描方式分類

點掃

特點：對樣品的某一位置進行微區元素分析，掃描能譜的面積較小。

應用：用于測試樣品某一點位置上的形貌及能譜信息。

線掃

特點：與點掃類似，但掃描能譜的面積相對較大，適用于對樣品某一條線位置上的形貌及能譜信息進行測試。

面掃

特點：對樣品某一面上的形貌及能譜信息進行全面測試，可以獲得更全面的元素分布信息。

應用：廣泛應用于各種需要全面了解樣品表面形貌和元素分布的領域。

此外，還有一種特殊類型的掃描電鏡——環境掃描電鏡，它采用多級真空壓差技術，可以在較高的氣壓、濕度和壓力下工作，特別適用于觀察新鮮活體生物樣品等需要保持樣品原始狀態的場景。

綜上所述，SEM掃描電鏡的分類多種多樣，不同類型的掃描電鏡在性能和應用上各有特點，用戶可以根據具體需求選擇合適的類型進行使用。