關于臺式掃描電鏡如何選擇合適的加速電壓值的建議

臺式掃描電鏡速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作，不需對中光闌等復雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。主機集成高壓及控制系統，體積小巧，便于移動，可出差攜帶，安裝無需特殊環境，只需找一張桌子，供電就可工作。

那么在實際工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的臺式掃描電鏡設備之外，選擇合適的加速電壓值也是很重要的一步。選擇高、低不同的加速電壓各有不同的優缺點，通常應根據試樣的組分和分析目的的不同來考慮，即金屬試樣一般會選擇較高的加速電壓，輕元素組成的試樣一般會選擇較低的加速電壓。

①選擇低加速電壓的優點：臺式掃描電鏡圖像的成像信息來源越趨于表面，圖像的表面細節就越顯得豐富、細膩，特別是會明顯減少邊緣效應，使得到的圖像顯得更協調、柔和。另外，低加速電壓、小束斑對試樣表面的損傷小，不容易造成試樣的荷電和圖像的漂移，也會減輕對試樣的損傷。

②選擇低加速電壓的缺點：加速電壓越低，電子束的波長越長，越不容易得到高分辨力的圖像，所以低加速電壓僅適合于拍攝放大倍率不太高的圖像，還有信噪也比較差，抗外部電磁場的干擾能力也較弱，對試樣表層所受的污染會變得更敏感，所以不易得到高清晰和高分辨力的圖像。

③選擇高加速電壓的優點：加速電壓越高入射電子束的波長越短，也就越容易得到高分辨力的圖像，還有抗外部電磁場的干擾能力也會增強，也不易受到試樣表層污染斑的影響，所以高的加速電壓比較適合拍攝高倍率的圖像。

④選擇高加速電壓的缺點：所獲得的圖像會缺少表面信息和細節，易呈現高反差，特別是會明顯變大邊緣效應，使得到的圖像欠柔和，也會使圖像容易呈現生硬的感覺。另外，高的加速電壓、大的束斑也容易造成試樣的放電和損傷，以及圖形的漂移。